自有人类文明以来，人们就一直为探索微观世界的奥秘而不懈的努力。1674年，荷兰人列文虎克发明了世界上第一台光学显微镜，并利用这台显微镜首次观察到了血红细胞，从而开始了人类使用仪器来研究微观世界的纪元。光学显微镜的出现，开阔了人们的观察视野，但是由于受到光波波长的限制，光学显微镜的观察范围只能局限在细胞的水平上，分辨率大约10-6米至10-7米的水平上。人类能否看的更小，更精确一些呢？为了达到这个目的，科学家进行了几个世纪不懈的努力。1931年德国科学家恩斯特.鲁斯卡利用电子透镜可以使电子束聚焦的原理和技术，成功地发明了电子显微镜电子显微镜一出现即展现了它的优势，电子显微镜的放大倍数提高到上万倍，分辨率达到了10-8米。在电子显微镜下，比细胞小的多的病毒也露出了原形。人们的视觉本领得到了进一步的延伸。现代科学的发展为新技术、新发明提供了坚实的理论依据，而科学的进一步发展又期待着新型仪器的发明和更新。在人类进入了原子时代的今天，科学技术的发展呼唤着更加精确、分辨率更高的仪器的发明和面世。人们期盼着在探索微观世界的历程中再迈出新的一步。
扫描隧道显微镜(STM)的英文名称是ScanningTunnelingMicroscope，简称为STM。STM具有惊人的分辨本领，水平分辨率小于0.1纳米，垂直分辨率小于0.001纳米。一般来讲，物体在固态下原子之间的距离在零点一到零点几个纳米之间。在扫描隧道显微镜(STM)下，导电物质表面结构的原子、分子状态清晰可见。图1-1显示的是硅表面重构的原子照片，照片上，硅原子在高温重构时组成了美丽的图案。
那么，为什么STM有如此高的分辨率？它又是如何工作的呢？为了弄清这个问题，我们先要从隧道效应讲起在中学时我们就学过，如果在一段导体的两端加上电压，就会有电流流过这个导体。如果把这个导体弄断并分开呢？自然就没有电流了。这是你所熟悉的电路常识。但是如果我们想象把这断为两截的导体放的非常非常的近，比如说距离控制到小于1纳米吧，情况又会怎样呢？根据经典电学的常识，你脑子里也许会反应出，导体没有接上，应该没有电流吧？我劝你回答的不要太快。因为奥妙也许就在这里。
根据量子力学理论的计算和科学实验的证明，当具有电位势差的两个导体之间的距离小到一定程度时，电子将存在一定的几率穿透两导体之间的势垒从一端向另一端跃迁。这种电子跃迁的现象在量子力学中被称为隧道效应，而跃迁形成的电流叫做隧道电流。之所以称为隧道，是指好象在导体之间的势垒中开了个电流隧道一样。隧道电流有一种特殊的性质，既对两导体之间的距离非常敏感，如果把距离减少0.1纳米，隧道电流就会增大一个数量级。
现在我们把两个导体如图1-2换成尖锐的金属探针和平坦的导电样品，在探针和样品之间加上电压。当我们移动探针逼近样品并在反馈电路的控制下使二者之间的距离保持在小于1纳米的范围时，根据前面描述的隧道效应现象，探针和样品之间产生了隧道电流。我们曾经说过，隧道电流对距离非常敏感。当移动探针在水平方向有规律的运动时，探针下面有原子的地方隧道电流就强，而无原子的地方电流就相对弱一些。把隧道电流的这个变化记录下来，再输入到计算机进行处理和显示，就可以得到样品表面原子级分辨率的图象。
这时，你可能要提一个新的问题：如此微小的扫描移动，如此精确的距离控制，STM是怎样实现的呢？为了说明这个问题，我们需要介绍STM的另一个重要器件——压电陶瓷。压电陶瓷是一种性能奇特的材料，当在压电陶瓷对称的两个端面加上电压时，压电陶瓷会按特定的方向伸长或缩短。而伸长或缩短的尺寸与所加的电压的大小呈线形关系。也就是说，可以通过改变电压来控制压电陶瓷的微小伸缩。如图1_2，我们把三个分别代表X，Y，Z方向的压电陶瓷块组成三角架的形状。通过控制X，Y方向伸缩达到驱动探针在样品表面扫描的目的；通过控制Z方向压电陶瓷的伸缩达到控制探针与样品之间距离的目的。STM探针的最尖端是非常尖锐的，通常只有一两个原子。因为只有原子级锐度的针尖才能得到原子级分辨率的图象，正好比只有刻度精确的尺子才能测量得到精确的尺度一样。STM探针通常是用电化学的方法制作的。目前也有人用剪切的简单方法得到尖锐的针尖。
也许有人会奇怪，STM与我们通常概念上的光学显微镜似乎很不一样，它为什么也叫显微镜呢？是的，STM与光学显微镜无论在外形上，还是在工作原理上都大不相同。把它称为显微镜，只是借用显微镜是观察微小事物的工具的概念而已，正象电子显微镜借用显微镜的概念一样。
好了，现在我们可以对扫描隧道显微镜(STM)进行一下总结了。扫描隧道显微镜(STM)又叫STM，它的基本工作原理是利用探针与样品在近距离（小于0.1纳米）时，由于二者存在电位差而产生隧道电流，隧道电流对距离非常敏感；当控制压电陶瓷使探针在样品表面扫描时，由于样品表面高低不平而使针尖与样品之间的距离发生变化，而距离的变化引起了隧道电流的变化；控制和记录隧道电流的变化，并把信号送入计算机进行处理，就可以得到样品表面高分辨率的形貌图像。
由于篇幅所限，我们在这里只能简单介绍STM的一些最基本的原理。许多概念只是点到为止，实际上的扫描隧道显微镜(STM)要涉及现代科学技术中诸如反馈控制、模数转换、图象分析等重要方法和技术。STM的仪器结构要比前面介绍的复杂的多，功能强大的多。
STM作为新型的显微工具与以往的各种显微镜和分析仪器相比有着其明显的优势：
首先，STM具有极高的分辨率。它可以轻易的“看到”原子，这是一般显微镜甚至电子显微镜所难以达到的。我们可以用一个比喻来解释STM的分辨本领：假如使用STM把一个原子放大到一个网球大小的尺寸，那么就相当于把一个网球放大到我们生活的地球那么大。
其次，STM得到的是实时的、真实的样品表面的高分辨率图象。而不同于某些分析仪器是通过间接的或计算的方法来推算样品的表面结构。也就是说，STM是真正看到了原子。
STM的使用环境宽松。电子显微镜等仪器对工作环境要求比较苛刻，样品必须安放在高真空条件下才能进行测试。而STM既可以在真空中工作，又可以在大气中、低温、常温、高温，甚至在溶液中使用。因此STM适用于各种工作环境下的科学实验。
STM的应用领域是宽广的。无论是物理、化学、生物、医学等基础学科，还是材料、微电子等应用学科都有它的用武之地。
STM的价格相对于电子显微镜等大型仪器来讲是较低的。这对于STM的推广是有好处的。
STM的问世，为现代科技在微观领域的突破提供了必要的工具，为纳米科技的兴起创造了条件。正是为了表彰葛.宾尼和海.罗雷尔发明扫描隧道显微镜(STM)而对科学所做的卓越贡献，1986年，瑞典皇家科学院把本年度代表科学研究最高荣誉的诺贝尔物理学奖授予了这两位杰出的科学家。
正象任何事物都不是十全十美的一样，STM也有令人遗憾的地方。STM基于隧道电流的工作原理决定了样品必须是导体或半导体。而面对世界上大量存在的非导电材料来讲，STM显得无能为力了。
如何解决STM存在的问题，科学家们又开始了新的探索。
新的设计思想带来新的技术革命，绝妙的灵感必然引发更多、更新颖的思想火花。STM巧妙地利用探针近场（近距离）探测方法、隧道电流理论、压电陶瓷扫描方法等现代科学技术，大大扩展了人们对显微技术本身的认识。借鉴STM的方法，许多新型的显微仪器和探测方法相继诞生。这些显微仪器适用于不同的领域，具有不同的功能。虽然它们功能各异，但都有一个共同的特点：使用探针在样品表面进行扫描。科学界把这类显微仪器归纳到一起，统称为扫描探针显微镜(SPM)，英文为：ScanningProbeMicroscope，简称SPM。因此，当我们说到扫描探针显微镜(SPM)时，指的是SPM这一类显微镜。
由于SPM深入到现代科技的各个领域，扫描探针显微镜(SPM)的种类也很多，这里，我们只能选择SPM家族中有代表性的几个成员介绍给大家。它们是：原子力显微镜(AFM)，近场光学显微镜和弹道电子发射显微镜。
我们曾指出STM只能得到导体和半导体的图象，而对绝缘体则力不从心了。怎样解决这个问题？能不能找到一种既适用于导体，又适用于非导体的探测方法呢？答案是肯定的。这就是我们要介绍的原子力显微镜(AFM)。最先提出原子力显微镜(AFM)设计思想的，仍然是扫描隧道显微镜(STM)的发明人：年轻的科学家葛·宾尼。
原子力显微镜(AFM)的设计思想是这样的：一个对力非常敏感的微悬臂，其尖端有一个微小的探针，当探针轻微地接触样品表面时，由于探针尖端的原子与样品表面的原子之间产生极其微弱的相互作用力而使微悬臂弯曲，将微悬臂弯曲的形变信号转换成光电信号并进行放大，就可以得到原子之间力的微弱变化的信号。从这里我们可以看出，原子力显微镜(AFM)设计的高明之处在于利用微悬臂间接地感受和放大原子之间的作用力，从而达到检测的目的。
图2-1是目前商品化的原子力显微镜(AFM)仪器普遍采用的激光检测法示意图。激光检测法的工作原理是：由半导体激光器发出的一束红光经过光学透镜进行准直、聚焦后，照射到微悬臂上。三角架形状的微悬臂是利用微电子加工工艺制作的。微悬臂的尖端是探针，背面是用于反射激光光束的光滑镜面。微悬臂的尺寸大约100微米左右。汇聚到微悬臂镜面的激光经反射后最终照射到四象限光敏检测器上。当探针在样品表面扫描时，由于样品表面起伏不平而使探针带动微悬臂弯曲变化，而微悬臂的弯曲又使得光路发生变化，最终导致照射到光敏检测器上的激光光斑位置发生移动。光敏检测器将光斑位移信号转换成电信号，经放大处理后既可得到图象信号。
原子力显微镜(AFM)同样具有原子级的分辨率。由于原子力显微镜(AFM)既可以观察导体，也可以观察非导体，从而弥补了STM的不足。
原子力显微镜(AFM)发明以后，又出现了一些以测量探针与样品之间各种作用力来研究表面性质的仪器，例如：以摩擦力为对象的摩擦力显微镜、研究磁场性质的磁力显微镜、利用静电力的静电力显微镜等。这些不同功能的显微镜在不同的研究领域发挥着重要的作用，它们又统称为扫描力显微镜。
科学界把探针与样品之间的距离小于几十纳米的范围称为近场，而大于这个距离的范围叫做远场。显然，STM、AFM等利用探针在样品表面的扫描的方法属于近场探测，而对于光学显微镜、电子显微镜等远离样品表面进行观测的方法称为远场方法。
正如电子具有隧道效应一样，光子也具有光子隧道效应。既然可以利用电子的隧道效应成象，是否也能利用光子隧道效应成象呢？这的确是个很好的主意，看来你和科学家想到一起了。我们都知道，传统光学显微镜的分辨率不能超过光波波长的一半，这是限制光学显微镜分辨本领的桎梏。研究发现，物体受光波照射后，离开物体表面的光波分为两种成份：一部分光向远方传播，这是传统光学显微镜能接收的信息；而另一部分光波只能沿物体表面传播，一旦离开表面就很快衰减。这部分在近场传播的光波又叫隐失波。由于隐失波携带有研究样品表面非常有用的信息，科学家一直设想能对这种近场的光波加以研究利用。STM新颖的设计思想的出现，为近场光学的研究提供了思路。于是一种新型的科研仪器，近场光学显微镜诞生了。
图2-2是近场光学显微镜的原理示意图。将一个同时具有传输激光和接收信号功能的光纤微探针移近样品表面，微探针表面除了尖端部分以外均镀有金属层以防止光信号泄露，探针的尖端未镀金属层的裸露部分用于在微区发射激光和接收信号。当控制光纤探针在样品表面扫描时，探针一方面发射激光在样品表面形成隐失场，另一方面又接收10-100纳米范围内的近场信号。探针接收到的近场信号经光纤传输到光学镜头或数字摄像头进行记录、处理，在逐点还原成图象等信号。近场光学显微镜的其它部分与STM或AFM很相似。
由于近场光学显微镜探测的是隧道光子，而光子又具有许多独特的性质：例如，没有质量、电中性等，因此，近场光学显微镜在纳米科技中扮演的角色是其它扫描探针显微镜(SPM)所不可替代的。
一般来说，当两种材料相互接触时，接触的面就叫做界面。界面是看不见，摸不着的。界面到底有什么特殊的物理和化学性质一直是人们关心的问题。对于半导体材料来讲，界面的研究尤其重要。例如我们所熟悉的二极管、三极管就是利用其界面的特殊性质进行工作的。在以往的半导体/半导体或金属/半导体界面研究中，人们只能通过宏观或平均的测量来了解界面的性质，而对微观的界面情况了解甚少。
STM近场探测方法的实现，也开阔了人们研究微观界面的思路。弹道电子发射显微镜也是在STM的基础上设计出来的。
图2-3是弹道电子发射显微镜的示意图。为了理解BEEM的工作原理，我们可以回想一下中学时学过的半导体二极管和三极管。二极管是由掺杂有不同材料的P型和N型半导体构成的；P型和N型半导体构成的界面称为PN结。而三极管则是由两个PN结组成。PN结实际上是一种被称为肖特基势垒的异质结，正是由于这种界面异质结的特殊性质使得三极管具有了奇妙的放大作用。现在我们如图3_3把STM的探针接近具有异质结的样品表面。请注意，图3_3具有两个信号通路：一个是探针与上层样品构成的STM信号通路；另一个是由探针经过上层材料和异质结到达下层材料的弹道电流通路。按照STM的工作原理，当探针与样品之间的距离非常接近时，由于探针的电势场高于样品，探针会向样品发射隧道电子。这些隧道电子进入样品到达界面时，虽然大部分电子的能量由于已经衰减而被界面的势垒反弹回来，但是仍有少数能量较高的电子能够穿透界面到达下层材料，这些穿透过界面的电子称为弹道电子。由于弹道电子在穿透界面时携带了许多有关界面的信息，因此BEEM为界面的研究提供了有价值的数据。BEEM的另一个特点是可以同时得到表面的STM图象和界面的图象，这对于同时对表面和界面进行探测、研究和比较是十分有利的。
如前所述，扫描探针显微镜(SPM)的种类有很多。例如，用以研究磁场现象的磁力显微镜研究表面摩擦的摩擦力显微镜，还有静电力显微镜、扫描噪声显微镜、扫描热显微镜、光子隧道显微镜、离子电导显微镜，等等。这些显微镜在不同的研究领域发挥着各自不同的作用。可以预料，随着纳米科技的蓬勃发展，将不断会有新型的仪器产生并加入到扫描探针显微镜(SPM)家族之中。
面对千姿百态、神秘莫测的物质表面，有位哲人曾感叹道：表面是个魔鬼！的确，由于物质表面原子、分子空间结构的特殊性，使得表面的化学及物理性质远比物质内部复杂和丰富的多。因此，为了了解表面的微观现象，科学家们投入了极大的热情并取得了丰硕的成果。下面就让我们用扫描探针显微镜(SPM)来揭开表面这个魔鬼的神秘面纱吧。需要指出的是，扫描探针显微镜(SPM)下的微观世界是绚丽多姿的。由于篇幅所限，在这里我们只能摘取其中几朵美丽的小花供大家欣赏。
在图1-1我们已经展示了硅原子的美丽图象。硅片是大家熟悉的制作晶体管和大规模集成电路的半导体材料，为了得到表面清洁的单质材料，要对硅片进行高温加热和退火处理，在加热和退火处理的过程中硅表面的原子进行重新组合，结构发生较大变化，这就是所谓的重构。在STM发明之前，科学界对硅的重构现象一直有较大的争议。当宾尼和罗雷尔第一次将硅表面原子排列的STM图象呈现在人们面前的时候，科学家们在对硅111面7X7原子重构无可辩驳的事实表示信服的同时，更为STM所表现的极高的分辨本领所惊讶。看着硅原子构成的那精美的图案，你怎能不为大自然造物所具有的鬼斧神工的本领所折服
上图中所示的是在电解液中得到的硫酸根离子吸附在铜单晶(111)表面的STM图象。图中硫酸根离子吸附状态的一级和二级结构清晰可见。我们说，SPM的本领是神通广大的，它的适应领域和操作环境非常宽阔，不管样品是在真空中、空气中，还是液体中，SPM都可以使其现出原形”。
1990年，IBM公司的科学家展示了一项令世人瞠目结舌的成果，他们在金属镍表面用35个惰性气体氙原子组成“IBM”三个英文字母。科学家在试验中发现STM的探针不仅能得到原子图象，而且可以将原子在一个位置吸住，再搬运到另一个地方放下。这可真是个了不起的发现，因为这意味着人类从此可以对原子进行操纵！这在过去只能从科幻小说上看到的情节现在已经成为现实，怎能不让科学界浮想联翩，为之振奋
这是中国科学院化学所的科技人员利用纳米加工技术在石墨表面通过搬迁碳原子而绘制出的世界上最小的中国地图。这幅地图到底有多小呢？打个比方吧，如果把这幅图放大到一张一米见方的中国地图大小的尺寸，就相当于把该幅地图放大到中国辽阔的领土的面积。这下你可以想象这幅纳米中国有多么袖珍了吧纳米加工技术是利用扫描探针显微镜(SPM)的方法对样品实施电脉冲或力等手段进行表面修饰的方法。SPM的加工精度要比传统的光刻技术高的多。在当今高科技产业飞速发展的时代，由于各种器件的集成度越来越高，传统的毫微米加工技术已经接近理论的极限，因此，纳米加工技术的出现无疑给人们带来了希望。
当今的时代，大规模集成电路的制造已经进入了微米和亚微米的量级。电子器件的集成度越来越高，已经接近了它的理论极限。在纳米尺度上，由于电子的波动性质而呈现各种量子效应，使得电子器件已无法按照通常的要求进行工作。纳米电子学正是面对这种挑战而诞生的。在纳米电子学这个天地里，新的发现，新的成果不断涌现。
纳米电子器件中最有应用前景的是各种量子元器件。这种利用量子效应制作的器件不仅体积小，还具有高速、低耗和电路简化的特点。纳米电子学中另一个有趣的研究热点是所谓的单电子器件。在单电子器件中，利用库仑阻塞效应，甚至能够对电子一个一个的加以控制，这有可能开发出单电子的数字电路或存储器。
基于利用STM对分子、原子进行搬迁的事实，人们产生了利用该技术制造分子存储器甚至原子存储器的梦想。难道不可以吗？物体的表面，有原子的位置为“1”，没原子的位置为0”，这不就可以表示二进制吗？这不就是存储器吗？有人做过计算，一个分子存储器能够存储的信息，相当于100万张光盘的存储量；而一张同样大小的原子存储器的容量，将能够存入人类有史以来的全部知识！
科学研究发现，当材料的颗粒缩小到只有几纳米到几十纳米时，由于颗粒表面相对活跃的原子数量与颗粒内部结构稳定的原子数量的比例大大增加，使得材料的性质发生了意想不到的变化。本文开始时提到的纳米陶瓷材料能够弯曲180度就是一个典型的例子。由于陶瓷材料具有坚硬、耐高温等优良特性，工业界一直认为陶瓷是未来汽车、飞机发动机的理想材料。如果纳米陶瓷的柔韧性优势得到利用，今后的发动机将甩掉笨重的冷却系统，汽车将跑的更快，飞机将飞的更高。
纳米颗粒材料潜在的应用前景是多方面的。例如，实验发现纳米铜和铝一遇到空气就会激烈燃烧，发生爆炸，这也许可以作为未来的固体燃料使火箭具有更大的推动力；纳米有机发光材料的特点是材料即具有柔性，同时可以在电场的作用下发出各种颜色的光。有人设想用纳米有机发光材料制作的电视屏幕甚至可以象一幅图画一样卷起来带走。
我们知道，机械加工的方法是用车、磨、铣、刨、钻等机床把料材加工成各种需要的工件。这是一种自上而下，或者说从大到小的加工方法。加工的过程必然要去掉一些下脚料，造成浪费。而纳米制造技术则是由相反的方向，直接由原子、分子来完整地构造器件。这真是机械加工的一场革命。请不要把这种变革当成天方夜谭来看。实际上，原子、分子操纵技术、纳米加工技术、分子自组装技术等新科技已经为这种突破提供了可能性。目前，科学研究的前沿已经深入到单原子的探测和操纵中，制作具有特殊功能的人造分子和纳米器件已经成为可能。在一些实验室中科学家们已经开始了制造诸如纳米齿轮、纳米电池、纳米探针、分子泵、分子开关、甚至分子马达等纳米机械雏型的探索并取得了可喜的成果。我们可以想象，到人类可以按照自己的意愿创造物质结构的时候，世界将会变成怎样。
上图描述的是两种不同的分子在分子之间力的作用下在溶液中自组装的情形。由于纳米尺寸非常之小，纳米机械必须具有自组装、自我复制等功能。
纳米机械中最具有卡通色彩的莫过于纳米机器人了。在科学家和画家的笔下，未来纳米世界是纳米机器人纵横驰骋的天下。你看，一次太空发射可以将成千上万的纳米飞船发射到外太空，这些飞船的目的是到其它星球去执行生产和复制的工作。具有特殊使命的纳米间谍被散播到敌方或竞争对手中去，它们的任务是侦察敌情和搜集情报。人的身体更是纳米机器人大显身手的地方。这些机器人比血红细胞还要小，它们各司其职：有的负责监视病情，有的负责向特定的部位传输药物，有的则负责清除病毒、血栓、垃圾等有害物质。
下面让我们看看科学家和画家是怎样描绘生物机器人的。
上图是科学家幻想的人体中的血红细胞和人造细胞在一起的情景。我们知道人体中红血球的重要功能之一是向身体的各个部分输送氧分子，因为如果身体的某些部分缺氧，那部分就会感到疲劳。画中的蓝色小球称为呼吸者，它们不仅具有比红血球携带氧分子多数百倍的功能，而且本身装有纳米计算机、纳米泵，可以根据需要将氧释放，同时将无用的二氧化碳带走。科学家一直在研究微生物的机械本领并试图把它应用到纳米机械的设计中去。例如大肠杆菌等细菌的移动靠的是一种称为鞭毛马达的驱动机构。微生物的鞭毛马达虽然只有30至50纳米，但它的效率却极高。这种效率相当于只需百分之一马力就可以使体重60公斤的人像骑摩托车一样飞速前进。图4_4是画家笔下的一种纳米仿生术机器人。这种称为游荡者的纳米仿生物可以为人体传送药物，进行细胞修复等工作。
上图描述的是一个纳米机器人在清理血管中的有害堆积物。由于纳米机器人可以小到在人的血管中自由的游动，对于象脑血栓、动脉硬化等病灶，它们可以非常容易的予以清理，而不用再进行危险的开颅、开胸手术。
1993年，因发明STM而获得诺贝尔奖的科学家罗雷尔博士曾写信给江泽民主席。他指出：“许多人认为纳米科技仅仅是遥远的未来基础科学的事情，而没有什么实际意义。但我确信纳米科技已经具有与150年前微米科技所具有的希望和重要意义。150年前，微米成为新的精度标准，并成为工业革命的技术基础，最早和最好学会并使用微米技术的国家都在工业发展中占据了巨大的优势。同样，未来的技术将属于那些明智地接受纳米作为新标准、并首先学习和使用它的国家。不幸的是，目前对这一新领域持保留和怀疑态度的还大有人在。我们应当记住，微米曾同样地被认为对使用牛耕地的农民无关紧要。的确，微米与牛和耕犁毫无关系，但它却改变了耕作方式，带来了拖拉机。”罗雷尔博士的话精辟地阐述了纳米科技对社会的发展将要起的重要作用.扫描探针显微镜(SPM)的发明推动了纳米科技的兴起。而纳米科技的发展和实用化必将促进人类文明的进步。让我们满怀信心地迎接纳米科技时代的到来吧！
本文编写得到了新加坡InstituteofMaterialsResearch&Engineering的苏小笛博士，李五湖博士，张伟德博士，中国科学院向学芸女士等的帮助。特此感谢！