1.1连续运行时原水供给量:≥10吨/小时；
1.2叠片过滤器产水量:≥48吨/小时；
1.3超滤产水量:≥45吨/小时；
2、供电：纯水站：380VAC50HZ、功率：110KW
3、压缩空气气源：
3.1连续输送无油压缩空气压力:0.7MPa；
3.2压缩空气管道直径:≥DN20。
4、氮气气源：
4.1氮气纯度:99.999%；
4.2连续输送高纯氮气压力:0.4Mpa；
4.3输送高纯氮气管道直径：≥DN20；
5、换热器热交换的热媒：70℃热水进，50℃热水回
因RO膜的透水率随温度的降低而降低，故预处理工艺增设热交换设备，将冬季低于常温的水（最低约8度℃）提升至20-25℃。
备注：如上述条件具备，请提前一星期通知我公司，以便我公司提前安排滤料及膜等材料的发货。
1、电气系统调试需5日：此项工作应与下面2-6项工作同时进行。
2、原水箱的清洗及漏水检测（水箱里充满水后保持24小时不漏现象）；
3、预处理系统的调试：3日完成：
3.1叠片过滤器冲水清洗；
3.2超滤冲水清洗；
3.3超滤水箱的清洗及漏水检测（水箱里充满水后保持24小时不漏现象）；
4、反渗透系统的调试：4日完成：
4.1反渗透膜壳的冲洗；
4.2反渗透膜的装填；
4.3反渗透系统的调试。
4.4一级RO水箱的清洗及检测（水箱里充满水后保持24小时不漏现象）；
5、EDI系统的调试：3日完成：
5.1中间水箱的清洗及检测（水箱里充满水后保持24小时不漏现象）；
5.2254UV装置检查、过滤腔体的冲洗与254UV灯管的装填；
5.3EDI系统管道的冲洗；
5.4EDI膜块调试。
6、抛光混床系统的调试：3日完成
6.1超纯水箱的清洗及检测（水箱里充满水后保持24小时不漏现象）；
6.2185TOC装置检查、过滤腔体的冲洗与185TOC灯管的装填；
6.3抛光混床罐体的清洗；
6.4抛光混床树脂的装填；
6.50.22微米过滤器的清洗与0.22微米过滤芯的装填。
7、系统总调试：7日完成
7.1大循环管道的清洗；
7.2大循环管道的水压测试（循环管道各用水点阀门及回水管道阀门关掉，然后启动纯水泵来纯水循环管道打水，泵出口压力5公斤压力时，泵出口阀门关闭，观察12小时不漏现象）;
7.3纯水大循连续运行。
8、设备操作人员培训：2日完成
8.1业主需在设备开始调试阶段安排操作人员进行见习纯水系统的调试过程；
8.2理论培训：2日完成。
8.3调试人员3名：工艺调试工程师1，人安装调试工程师1人，电器工程师1人，
三、系统调试大纲：
1调试前的准备工作：
1.1、化学药剂的准备工作：调试期间所需以下药剂，由我公司提供。
1.1.1NaClO（杀菌剂）溶液：0.5-1PPM；
1.1.2NaHSO3（还原剂）溶液：1.5-3PPM；
1.1.3阻垢剂溶液：3-5PPM；
1.1.4NaOH（碱）溶液：0.1-10PPM；
说明：
a.以上化学药品同视为100%浓度；
b.配置方法（建议配置药剂采用反渗透以后产水配制）：
①.取烧杯一个，调节好计量泵冲程后，计算出每小时计量泵输出的药液量，此过程系计量泵校正过程。
②.根据系统进水量、药品配比浓度,计算出系统运行一小时所需药量；
③.根据药品的实际浓度，计算出每100L水中所需加入的药量
④.根据实际加入药箱的水的体积，乘以每100L需要加入的药量算出需要加入的药量的总数，加入后搅拌混合均匀。
1.2、电控系统初步调试：
1.2.1检查三相电源进线电压、电流是否符合系统运行条件，接地线是否按要求接至电控柜内，合上总电源前检查电控柜内接线是否有误，确认无误后，合上总电源。
1.2.2检查保护系统接线。
1.2.3检查配电柜及电器元件有无损坏。
1.2.4对电器系统的接线进行检查、确认接线无误、接线压实。
1.2.5检查高压泵以及其他水泵转向是否正确，接线是否良好，电流及转速是否与水泵参数相符等。
1.2.6检查各阀门和计量泵，是否动作准确无误。
1.2.7确认管道上各阀门在正确位置，记录系统运行参数。
1.2.8校准计量泵实际加药量，并进行记录。
1.2.9检查各设备之间联锁，是否动作准确无误。
2、预处理设备的调试：
2.1、叠片过滤器的调试：
1）确认过滤器管道已固定连接完毕，且确认无损坏；
2）确认各阀门安装方向正确；
3）打开叠片过滤器进水阀与出水阀，启动原水泵，向超滤补水。
2.2超滤的调试：
2.2.1超滤自动运行和自动反洗：
2.2.2检查各手动阀门在正确位置;
2.2.3超滤系统自动运行条件：
2.2.4压缩空气压力大于0.5MPa；
2.2.5原水箱液位在中位以上；
2.2.6UF产水箱液位低于中液位；
2.2.7原水泵、超滤反洗泵选择开关置于'自动'位置；
2.2.8超滤就地柜上运行指示灯亮。
2.2.9超滤的反洗:
UF水洗操作程序如下：
a.UF水洗操作程序如下
2.2.10、开机操作：
将原水泵，UF反洗泵状态选择开关置于'自动'，此时若原水箱液位高于中液位，超滤产水箱液位低于中液位时，原水泵会自动开启，原水泵→板换→叠片过滤器→超滤→超滤产水箱。当超滤产水箱液位由于过滤水的进入而逐渐升高，当液位升高至高液位，原水泵自动关闭。
注意：其中原水泵，超滤反洗泵都必须至于'自动'状态，否则预处理系统无法自动运行
2.3中间水箱的清洗
2.3.1用无纺布将水箱内壁檫洗干净；
2.3.2用超滤产水冲洗水箱出水清澈透明无异物为止
2.3.3打开超滤水箱的进水阀门，运行预处理系统，向RO水箱补水。
3、反渗透系统的调试：
3.1RO膜壳内壁的冲洗：将叠片及超滤阀门至运行位置，开启RO浓水排放气动阀门，分别对RO膜壳进行冲洗半小时以上。
3.2拆开膜壳端板封头，检查密封圈等是否完好，内壁是否干净，并进行相应的处理。
3.3戴上塑胶手套或一次性手套，拆开RO膜，检查膜和膜密封圈的完整性，然后按照水流方向将RO膜及接头依次装入压力容器中，并原样装上端板封头。
3.4将所有的RO膜装入压力容器中。
3.5对RO膜进行低压冲洗1小时，将RO膜中的保护液冲洗干净，
3.6浸泡RO膜24小时以上。
3.7开启RO系统，调节运行流量至设计流量；
3.8调节一级RO高压泵进水加碱装置,至二级RO系统产水电导率至最低值；
3.9连续运行RO系统，并对系统进行微调；
3.10一级RO水箱及中间水箱的清洗：
3.10.1用无纺布将水箱内壁檫洗干净；
3.10.2用RO产水冲洗水箱出水清澈透明无异物为止。
4、电去离子（EDI）系统的调试：
4.1、185TOC检查：
4.1.1确认254UV检查外观整洁，且确认无损坏；
4.1.2确认接线正确并压实；
4.1.3确认管道连接无泄漏。
4.2、EDI电去离子试运行：
4.2.1设备投运前的准备工作：
1）确认进入RO产水水质满足上述条件；
2）拆下EDI进水管道，并对管道进行冲洗；
3）全面检查EDI膜块两端板的紧固螺栓是否全部锁紧；
4）检查膜块的直流电源接线是否正确；
5）检查确认中间水泵的电机运转方向是否正确；
6）检查各个仪表工作电源是否符合设备要求；
7）设定各流量限位开关最低值（浓水排水）。
4.2.2设备的投运：
1）检查各个调节阀门是否处于开启状态；
2）启动中间水泵向膜块注水至产水流量计、浓水给水、浓水排水流量计有水通过；
3）调节产水、浓水进水、浓水排水之流量，使之符合设计流量；
4）开启EDI电源，连续运行使EDI产水电阻率符合设计质；
4.2.3氮封纯水箱的清洗：
1）用无纺布将水箱内壁檫洗干净；
2）用EDI产水冲洗水箱出水清澈透明无异物为止。
5、抛光混床系统的调试：
5.1、185TOC检查：
5.1.1确认185TOC检查外观整洁，且确认无损坏；
5.1.2确认接线正确并压实；
5.1.3确认管道连接无泄漏。
5.2、抛光混床的调试：
5.2.1抛光混床前管道的清洗：打开混床进水阀门的活接头，启动纯水输送泵，冲洗管道里的异物。
5.2.2抛光混床的清洗：打开各抛光混床的进出水阀门及排放阀，启动纯水输送泵向各抛光混床补水：
1）确认抛光混床各阀门安装的方向正确否；
2）确认抛光混床管道连接无任何滴跑渗漏现象；
5.2.3待流出水清澈透明，电阻率≥0.5MΩ·cm(at25℃)为止，关闭输送泵。
5.2.4抛光树脂的装填：
1）吸出各抛光树脂内的纯水并剩余1/4混床容积的水。
2）打开各抛光混床的进料封顶盖，向抛光混床内缓慢填充树脂；
3）树脂填充完毕后将封盖固定紧，使之密封；
5.2.5抛光混床试运行：
1）确保各相应的进出阀门、混床的总阀排放是打开状态。
2）待混床总阀排放水的电阻率≥18MΩ·cm(at25℃)为止。
5.3、0.22微米过滤器滤芯的装填：
5.3.1确保以上工作完成以后，即可对0.22微米过滤器滤芯进行装填。
5.3.2装填前，需用洁净的无纺布将该过滤器内壁清洗干净.
5.3.3再用混床出水进行冲洗，至桶体内无明显杂质为止。
5.3.4戴上塑胶手套或一次性手套，拆除滤芯外包装，即可0.22微米过滤器滤芯装填过滤器容器内。装填完毕，进行密封，并试水，桶体密封无泄露即装填完毕。
5.4、大循环管道及氮封纯水箱的清洗：
1）打开大循环回水排放阀；
2）运行抛光混床系统；
3）确认大循环管道无任何滴跑渗漏现象；
6、系统总调试：
6.1.1液位与设备自动运行的连锁；
6.1.2系统故障及报警功能调试；
6.1.3水泵电流整定调试。
6.2触摸屏的调试：
6.2.1触摸屏与PLC的功能调试；
6.2.2触摸屏的报警功能调试。
四、培训大纲：
1、现场操作与调试培训：每天8课时，2天，总16课时完成。
了解与掌握系统常见故障的应急处理方法；了解与掌握系统在操作过程中的注意事项；掌握如何做好设备记录并判断分析各个系统运行是否正常。故建议操作人员能一直跟随调试全过程。
培训内容：
（1）叠片、超滤、反渗透、EDI电去离子系统工艺的结构、安装及操作；
（2）过滤器膜片及滤芯装填方法；
（3）化学药品的配置使用及注意事项；
（4）记录设备初期运行参数，制作表格，并学会如何对设备运行情况进行判断。
2.理论培训：每天8课时，1天，总8课时完成。
在上述培训基础上，对系统工作原理进行系统的理论培训，以便更好的服务于实践操作。
（1）水化学基础知识介绍；
（2）水处理专业技术术语简介；
（3）纯水制备工艺介绍：叠片过滤器、超滤、微滤、反渗透、EDI电去离子，紫外杀菌器等；
（4）系统加药原理及介绍；
（5）系统的判断、清洗方法；
（6）系统操作维护及常见故障排除方法
3.设备试运行期间培训：每天8课时，2天，总16课时完成。
此培训过程是为了巩固理论培训知识，此阶段要求设备需连续运行，所有操作及记录均由操作人员来完成，培训人员现场指导，规范操作人员操作方法，并对现场设备运行参数进行调整，稳定设备运行，此过程是设备由静态转变为动态直至正常运行的关键过程，通过此过程培训，可以使受训操作人员了解到设计、设备与安装之间的关系。在调整实践中要求培训人员准确地记录系统及其各个环节的调试数据、参数，认真观察设备运行状态。在培训期间,培训人员应做到“四勤”“一动”；四勤：勤看、勤听、勤问、勤做记录；一动：在了解设备与调试人员的指挥下多动手。
培训内容:
（1）设备运行参数记录及判断；
（2）单体设备之间的控制及调整方法；
（3）设备出现故障及处理。
五、纯水系统的考核与验收：
1、自检：
完成系统总调试工作，全套系统连续运行72个小时后，对纯水系统总出水进行水质分析化验，当全部测试参数达到验收标准技术指标的规定数值，双方签署《纯水验收合格证书》。
2、验收标准：
1、锅炉补给水、冷冻补水（一级RO水）:20m3/hr（峰值）;
2、工艺清洗用水（一级RO水）：7m3/hr（长期用水）；
3、工艺设备冷却水补水（二级RO水）:6m3/hr；
4、18兆超纯水:13m3/hr（含大循环回水3m3/hr）。超纯水电阻率：≥18MΩ·cm(at25℃),其它指标满足电子级水国家标准EW-I标准规定的各项技术指标。
1.1原水水源及水质
原水水源：自来水，原水水质检测报告如下：
序号
指标
单位
结果
1
色度
度
＜5
2
浊度
NTU
0.48
3
臭和咪
无
4
肉眼可见物
5
氟化物
mg/l
0.08
6
氰化物
＜0.002
7
砷
μg/L
0.53
8
硒
9
汞
10
镉
＜0.6
11
六价铬
mg/L
＜0.004
12
铅
＜10
13
银
14
硝酸盐氮（以氮计）
0.18
15
氯仿
11.7
16
四氯化碳
1.5
17
总硬度
mg/L（以CsCO3）
102
18
苯并芘
19
滴滴涕
20
六六六
21
铁
0.011
22
锰
＜0.0001
23
细菌总数
个/ml
0
24
大肠杆菌
个/L
25
PH
7.92
26
铜
＜0.003
27
锌
＜0.0006
28
挥发酚（以苯酚计）
29
阴离子合成洗涤剂
＜0.05
30
硫酸盐
12.8
31
氯化物
3.7
32
溶解性总固体
33
余氯（出厂水）
0.8
34
余氯（管网水）
35
总（α）放射性
Bq/L
36
总（β）放射性
1.2设计规模
本系统根据用户工艺情况有3种水质,水量要求分别如下:
1)超纯水(终端出水)：使用量25m3/h(循环附加量按40%)；
2)纯水(EDI出水)：使用量4m3/h(循环附加量按50%)；
3)软化水（二级反渗透出水）：使用量8.0m3/h。
1.3产水水质
1)超纯水水质要求见下表
项目指标
水质要求
备注
电阻率
MΩ·cm
≥18.1，25℃
在线检测
颗粒度≥0.5μm
个/mL
<1500
活菌
Cfu/100ml
≤1
TOC
ppb
≤5
溶解氧
溶解SiO2
总SiO2
≤2
蒸发残余物
水量和水温
M3/h
25.0(20±2℃)
水压(P站房内)
Mpa
0.4±0.05
2)纯水(EDI出水)水质要求见下表
≥5，25℃
4.0(20±2℃)
水压
3)软化水(二级反渗透出水)水质要求见下表
μs/cm
≤6，25℃
8.0
1.4控制系统
控制系统采用PLC+上位机方式实现自动控制。系统可实现现场就地和控制室集中控制两种操作方式，系统可进行自动与手动运行方式的切换。
1.5工程界区与技术接口
卖方负责纯水站设计、施工、制造、包装、运输、安装和调试，工程范围包括：超纯水系统、循环回流系统。
工艺给水接自厂房内现有给水管道；
工艺排水通过地沟或埋管排至室外排水井，埋管可由业主提供；
压缩空气接自厂房内现有的压缩空气储罐；
氮气管道由业主接至纯水站内1米处；
车间内动力与照明用电接自值班室内业主提供的总配电柜；
上位机与中央控制系统网络接口标准采用Lonworks网络标准，符合LonTalk协议；接口设在厂房轴线处；
再生间设排风扇通风；
室内采暖设计标准：值班室20℃，水站内15℃；
室内照明设计标准：值班室75LX，水站内50LX；
压缩空气系统与氮气系统设连通控制阀，当水站内压缩空气系统压力低于设定值时，控制阀自动开启，氮气进入压缩空气系统。连通处设在氮气调压阀前，氮气压力＞0.6MPa，本公司负责连通控制阀系统，业主负责提供调压阀。
1.6公用工程
纯水站所需的外部公用条件如下：
1)电力消耗：380V/220V±10%，三相，50Hz，80KVA。
2)原水：正常水量17.5m3/h，最大水量54m3/h（多介质过滤器反洗时），压力≥0.2MPa。
3)仪表空气：压力0.6-0.7MPa，最大流量0.3Nm3/min。
4)氮气：压力0.1-0.2MPa(调压阀后)，纯度：99.9995%，最大流量：0.3Nm3/min，历时3-5秒。
5)反渗透浓水排水：8m3/h。
6)化学品及投加量
名称
型号
外观形态
标准
有效成分
投加量
碱式氯化铝
PAC
淡黄色液体
国标
10-11%Al2O3
3-5ppm
阻垢剂
PTP0100
无色液体
厂商标准
8倍浓缩液
1ppm
氢氧化钠
化学纯
固体
10-15ppm
食盐
白色固体
分析纯
盐酸
36-37%
2工艺系统描述
2.1工艺流程
工艺流程图详见见附图，主要工艺路线如下：
原水→原水箱→原水泵→氧化剂加药装置→UF装置→UF原水箱→RO原水泵→还原剂加药装置→5μm保安过滤器→阻垢剂加药装置→一级高压泵→一级反渗透膜组→一级RO产水箱→NaOH加药装置→二级高压泵→二级反渗透膜组→RO产水箱→RO增压泵→TOC去除器→脱氧膜组1→EDI装置→氮封EDI产水箱→超纯水泵→TOC去除灯→抛光混床→终端精密过滤器→超纯水使用点。
用水点1：纯水泵1→换热器→TOC去除器→脱氧膜组2→一级抛光混床→二级抛光混床→终端滤器→去用户终端工艺用水点
用水点2：→纯水泵2→TOC去除器→精滤器→去用户其它工艺用水点
用水点3：→二级RO产水箱→去用户其它工艺用水点
2.2工艺系统简述
工艺流程分为超滤预处理系统+反渗透初除盐系统+EDI精除盐系统+循环精处理系统四部分，即UF+RO+EDI+循环精处理。各部分功能简述如下：
3.2.1超滤预处理系统（UF）
超滤预处理系统作为反渗透的前处理，主要目的是去除原水中的悬浮物、胶体、色度、浊度、有机物等妨碍后续反渗透运行的杂质。原水为自来水，水温受季节变化的影响较大。
预处理的设备主要包括原水箱、原水泵、板式换热器、氧化剂加药装置、超滤装置（UF）和反洗泵等。
3.2.1.1超滤装置
预处理的主要处理装置为超滤装置。超滤膜分离技术具有占地面积小、出水水质好（出水SDI15小于3）、自动化程度高等特点。本系统采用超滤作为除盐系统的预处理，超滤膜采用材质为PVDF的中空纤维，其表面活化层致密，支撑层为海绵状网络结构，故耐压、抗污染、使用寿命长，且能长期保证产水水质，对胶体、悬浮颗粒、色度、浊度、细菌、大分子有机物具有良好的分离能力。
l）UF主要特点
1）中空纤维外表面活化层孔隙率高，故纤维单位面积产水量大；
2）中空纤维强度高，采用反向冲洗和气济工艺，使组件可在全流过滤状态下工作，化学清洗周期大大延长：
3）UF装置操作成本低；
4）UF装置操作和维护简单。
2）超滤系统技术先进性
1）过滤膜采用PVDF，化学性能稳定，耐酸碱，易清洗。
2）膜表面经过亲水改性，水通量大，水量衰减小。
3）外压式中空纤维膜，耐压高，寿命长。
4）外压式运行方式与内压式膜．相比，进水条件宽，截留物不易堵塞进水流道，当原水悬浮物含量高时，不会象内压式那样造成污染物浓缩并堵死在丝的中空通道中。外压式膜即使在原水悬浮物含量较高的情况下，也能进行全流过滤，而内压式则必须采用循环错流过滤，水回收率低，动力消耗大。
5）采用气水混合反冲洗方式，反洗效果好，性能恢复能力强。
6）超滤作为反渗透预处理同常规的过滤工艺相比具有以下优点：
●过滤水质显著提高，大大延长反渗透的清洗周期，减少反渗透系统的投资量和运行费用
●只需一步处理，减少运行费用，提高效率减少了化学药剂投加量
l）设计温度：25℃
2）设计进水量：30m3／h／套
3）设计产水量：28m3／h／套
4）系统回收率：≥95％（三年内）
5）组件清洗周期：2～6个月／次
3.2.2反渗透初除盐系统（RO）
反渗透初除盐系统承担了主要的脱盐任务。反渗透系统设备包括超滤产水箱、UF水增压泵、还原剂加药装置、阻垢剂加药装置、NaOH加药装置、5μm保安过滤器、高压泵、反渗透膜组等。
3.2.2.1还原剂加药装置
在反渗透高压泵前加入还原剂，用以还原水中的氧化剂，如剩余氯［CI］，使水中的剩余氯［CD＜0.1mg／L，使RO进水满足RO装置的进水要求。
3.2.2.2阻垢剂加药装置
阻垢剂加药系统在反渗透进水中加入阻垢剂，防止反渗透浓水中碳酸钙、碳酸镁、硫酸钙等难溶盐浓缩后析出结垢，堵塞反渗透膜。从而损坏膜元件的应用特性，因此在进入膜元件之前设置了阻垢剂投加装置。阻垢剂是一种有机化合物质，除了能在朗格利尔指数（LSI）=2.6情况下运行之外，还能阻止SO2-的结垢，它的主要作用是相对增加水中结垢物质的溶解性，以防止碳酸钙、硫酸钙等物质对膜的阻碍，同时它也可以降低铁离子堵塞膜的微孔。
本系统推荐使用进口复合阻垢剂，它具有：
1）抑制析出作用。
2)分散作用。
3）晶格扭曲作用。
4)络合作用。
3.2.2.3NaOH加药装置
在二级反渗透高压泵前加入NaOH，用以调节其进水pH值，不仅可以提高RO装置对盐离子和TOC的脱除，而且能使RO产水的pH值满足IONPURE的EDI装置进水要求。
3.2.2.4反渗透装置
反渗透系统主要去除水中溶解盐类，同时去除一些有机大分子，前阶段未去除的小颗粒等。包括5μm保安过滤器、高压泵、反渗透装置、反渗透清洗系统等。本工程中，拟采用陶氏公司的BW30－400型反渗透膜，单根膜脱盐率可大于99.7％。
预处理系统产水进入反渗透膜组，在压力作用下，大部分水分子和微量其它离子透过反渗透膜，经收集后成为产品水，通过产水管道进入后续设备；水中的大部分盐分和胶体、有机物等不能透过反渗透膜，残留在少量浓水中，由浓水管排出。
在反渗透装置停运时，自动冲洗3～5分钟，以去除沉积在膜表面的污垢，使装置和反渗透膜得到有效保养。
反渗透膜经过长期运行后，会积累某些难以冲洗的污垢，如有机物、无机盐结垢等，造成反渗透膜性能下降。这类污垢必须使用化学药品进行清洗才能去除，以恢复反渗透膜的性能。化学清洗使用反渗透清洗装置进行，装置包括一台清洗液箱、清洗过滤器、清洗泵以及配套管道、阀门和仪表。当膜组件受污染时，可以用它进行RO系统的化学清洗。反渗透装置的运行工况：
1）设计温度：25℃
2）设计进水量：56m3／h
3）设计产水量：
一级反渗透产水量：48m3／h
二级反渗透产水量：38.5m3／h
4)系统回收率
一级反渗透回收率：≥75％（三年内）
二级反渗透回收率：≥80％（三年内）
5）系统脱盐率:≥97％（三年内）
6）组件清洗周期：3～6个月／次
3.2.3EDI精除盐系统
EDI精除盐系统主要功能是为了进一步去除水中的离子。EDI精除盐系统设备主要包括RO产水箱、RO水增压泵、紫外光杀菌器、脱氧膜装置、EDI装置等。
3.2.3.1脱氧膜装置1
脱氧膜装置采用脱氧膜2级串联，配置真空泵，以抽真空和氮气吹扫同时进行的方式，去除水中的CO2和溶解氧，装置出力32m3／h,，满足系统出水溶解氧＜5ppb的要求。
3.2.3.2EDI装置
EDI技术是将电渗析和离子交换相结合的除盐新工艺，该设备取电渗析和混床离子交换两者之长，弥补对方之短，即可利用离子交换做深度处理，且不用药剂进行再生，利用电离产生的H+和OH-，达到再生树脂的目的。
IONPURE装置主要技术参数：
l）设计进水量：30.5m3／h
2）设计产水量：29.0m3／h
3）回收率：≥90－95％
4）产水电阻率：≥16MΩ.cm
EDI的如下特点：
1）可连续生产符合用户要求的合格超纯水，产水稳定;
2）无需化学药品进行再生，没有化学物排放，属绿色环保产品;
3）结构紧凑，占地面积小，制水成本低;
4）出厂前完成装置调试，现场安装调试简单;
5）运行操作简单，劳动强度极低，培训容易
6）模块化组合，便于系统水量的调整;
7）运行电压低能耗小。
3.2.4循环精处理系统
循环精处理系统主要功能是为了保证系统出水的水质、水量的稳定性以及各项指标在通常状态下满足业主要求，本系统水量循环比例为1.5。系统设备主要包括氮封EDI产水箱、纯水泵、电加热器、TOC去除器、抛光混床、树脂捕捉器、终端精密过滤器和终端超滤等。
3.2.4.1脱氧膜装置2
脱氧膜装置采用脱氧膜2级串联，配置真空泵，以抽真空和氮气吹扫同时进行的方式，去除水中的CO2和溶解氧，装置出力23.0m3／h，溶解氧去除率99.96％，CO2去除率92.30％。满足系统出水溶解氧＜5ppb的要求。
3.2.4.2TO去除器
TOC去除器的主要功能是利用185μm波长紫外线将水光解成氢氧根离子和氢离子，氢氧根离子能氧化和裂解有机物，使其被氧化形成碳酸氢根离子后，被后续混床去除。TOC去除器出力23.0m3／h，TOC可减少到5ppb以下。
3.2.4.3抛光混床
设置抛光混床是为了进一步去除超纯水循环系统中可能引入的微量离子，保证出水电阻率＞18.1MΩ.cm，以满足用户要求。抛光混床内装填的树脂为超纯水级树脂，失效后无需再生，直接更换。更换周期约为6～8个月。
3.2.4.4终端精过滤
本系统采用精密过滤器及滤芯组件，此过滤器能有效截留超纯水中的微细颗粒，保证出水水质。
3系统控制与电气
3.1控制系统概述
系统中的控制对象主要是开关量，涉及到的控制对象除了开关阀以外，主要是泵设备的控制。也就是说系统是一个以开关量控制为主的系统；所以本控制系统采用可编程逻辑控制器（PLC）完成电气和仪表部分的自动控制，同时可显示工艺过程中的主要监测指标以及系统运行状态。
根据系统特点，把工艺流程分为预处理系统、反渗透系统、精处理系统、循环精处理四部分。采用PLC集中控制。
3.2PLC控制原理
PLC即可编程逻辑控制器，它根据编制的程序以及采得的数据信息进行逻辑运算，并将运算结果通过信号输出到执行机构来控制系统设备的运行。
采集的数据信号（如流量、液位、阀门和马达的反馈信号等）通过开关量输入、模拟量输入等卡件传送至中央处理器CPU，CPU经过逻辑运算，将运算结果通过开关量输出、模拟量输出等卡件以及配合的外围电路，驱动执行机构（如阀门、马达等），用户将编制的程序下传至CPU，CPU按用户指令进行运算，实现可编程控制。
3.3设备控制原理
3.3.1水泵控制
原水泵、超滤反洗泵、UF水增压泵、RO水增压泵、EDI水增压泵等均根据相应的水箱液位控制后停，同时联锁整个系统设备的启停。
RO装置的高压泵进出口均装有低压和高压保护开关。当供水量不足使高压泵入口的水压低于某一设定值（通常为0.1MPa）；会自动发出信号停止高压泵运行，保护高压泵不在无水情况下工作。当系统因其它的原因或误操作，使高压泵的出口压力超过某设定值时（通常为2.0MPa），高压泵出口压力保护会自动切断高压泵供电，同时停运相应的RO装置，保护系统设备不受损害。
3.3.2加药控制
对于配比加药的控制，本系统是根据对应反渗透装置的启停控制对应计量泵的启停，从而实现定量投加。
氧化剂、还原剂、阻垢剂计量泵和对应的工艺流程泵联锁启停。
3.3.3超滤控制
3.3.4反渗透系统(RO）控制
3.3.5反渗透（RO）启停保护
当RO投入运行时，为了防止高压泵突然启动升压，产生对RO膜元件的高压冲击破坏反渗透膜，在RO装置的高压泵出口至RO膜组件间设置一个漫开阀门，由可编程序控制器（PL）控制打开阀门，使反渗透膜元件逐渐升压至一定的压力。在RO停止使用时，应用原水对RO膜组件自动冲洗3～5min左右，以避免浓水中的高浓度盐类在RO膜表面沉积结垢而影响膜的性能。
3.3.6EDI装置的控制
3.4控制系统配置
3.4.1硬件
控制系统硬件组成包括1套可编程控制器（PLC）和1台程控柜构成的控制系统。PLC采用性能可靠、广泛应用于工业控制领域的产品。
3.4.2软件
我公司在大量实践运用的基础上开发的控制软件，能为系统的运行和保护提供可靠的工作程序。
（1）PLC应用软件：运行于PLC，实现各种控制功能。
（2）监控软件：基于WINDOWS9X／NT平台，功能强、使用简单、运用可靠的软件。作为人机界面，用于操作、调试人员监视装置运行状态、控制现场设备的接口。
3.5仪表
3.5.1概述
现场仪包括温度、压力、液位、流量、在线分析仪表和控制阀等。分析仪表有电导率、pH表等检测仪表
3.5.2仪表选型
现场仪表的选型原则是满足工艺要求、质量可靠。
3.6电气
3.6.1供配电
超纯水站用电设备电压等级为380／220VAC。设低压配电柜即MCC柜，向超纯水工艺系统动力设备供电。
3.6.2电气设备控制
电机采用自动／手动两种操作方式。集控操作在PLC相统一进行，控制由PLC实现。控制室上位机用于监控电气设备的运行状态、参数、电气设备故障报警等。
所有电动机分均设有就地操作按钮。
3.6.3防雷与接地
防雷：根据有关规程、规范，接入全厂避雷系统。
接地：根据有关规程、规范、所有需要保护接地的电气设备均可靠接入相应的接地系统。主要包括配电装置、PLC装置、机电设备、控制盘柜等。
4设备规范
1.）原水箱
数量
：1台
容积
：20m3
材质
：PE
附件
液位开关
：3个
水位控制阀
制造商
2.）原水泵
：3台
规格
：Q=30m3/hH=0.40MPa
：304SS
：
压力表
3.）保安过滤器（50μm）
型式
：立式圆筒
：2台
正常出力
：30m3/h
设计压力
：0.6MPa
壳体材料
滤芯材料
：PP
过滤公称精度
：50μm
：4台
取样阀
4.）氧化剂加药系统
4.1)加药箱
容量
：200L
4.2)加药泵
形式
：隔膜式
流量
：9.5L/h
出口压力
：0.69MPa
：PVC
：底阀、多功能阀、PE管
5.）超滤装置
：2套
设备出力
：≤0.6Mpa
工作温度
：5－40℃
UF膜元件
材料
：PVDF
：中空纤维膜
过滤型式
：外压式
本体控制阀门
进水阀(Tomoe)
：1台/套
出水阀(Tomoe)
反洗进水阀(Tomoe)
反洗排放阀(Tomoe)
正洗进水阀(Tomoe)
正洗排放阀(Tomoe)
进气阀(Tomoe)
化学清洗进口阀
化学清洗出口阀
UF滑架
：碳钢外涂三层环氧漆
配管
配管材质
：UPVC
就地仪表及控制盘
控制方式
：PLC自动控制
UF装置仪表
流量计
：1台／套
：2合／套
6.）反洗水泵
：Q=60m3/hH=0.20MPa
：不锈钢
7.）超滤水增压泵
：Q=60m3/hH=0.40Mpa
8.）还原剂加药系统
8.1)加药箱
8.2)加药泵
：3.8L/H
：0.76MPa
9.）阻垢剂加药系统
9.1)加药箱
9.2)加药泵
：1.6L/H
10.）一级反渗透系统
：1套
出力
：48m3/h
回收率
：75％
排列方式
：5-3排列
10.1)保安过滤器（5μm）
：60m3/h
：5μm
10.2)一级反渗透高压泵
：立式多级泵
运行流量
运行压力
：1.55MPa
过流元件材质
10.3)一级RO膜元件
：TFC涡卷式反渗透膜
：BW30-400
：48支
性能
：单支膜脱盐率＞99.7%
：TFC
10.4)一级RO膜壳
：80A30-6W
：8支
材料壳体
：FRP
工作压力
：300psi
10.5)RO滑架
10.6)配管
低压配管材质
高压配管材质
10.7)就地仪表及控制盘
：1组
10.8)自动阀门
气动阀
10.9)一级反渗透装置仪表
A）RO产水流量表
：转子式
量程
：0-50m3/h.
B）RO浓水流量表
：0－15m3/hr.
C）RO进水电导表
：液晶显示
：1－1000μs/cm
D）RO产水电导表
：0－100μs/cm
E）RO产水PH
：0－14
F）
：5台
：0－2.5MPa/0-1.0MPa
制造厂
G）高、低压力开关
高压力开关数量
低压力开关数量
H）SDI仪
：100片滤膜
2.）UF、RO化学清洗设备
2.1)清洗溶液箱
：垂直圆筒
有效容积
：2000L
设备本体材料
2.2)清洗泵
：SV型
：32m3/h，H=0.35MPa
2.3)5μm保安过滤器
设备正常出力
：32m3/h
滤芯材质
2.4)仪表
温度计
2.5)配管
3.）一级RO水箱
：3m3
：FE
空气过滤器
：1个
4.）NaOH加药系统
：PGC
5.）二级反渗透系统
：38.5m3/h
：80％
：4-2排列
5.1)二级反渗透高压泵
：立式离心泵
：1.5MPa
：316SS
5.2)
：36支
5.3)RO膜壳
：6支
5.4)RO滑架
5.5)配管
：1Cr18Ni9Ti
5.6)就地仪表及控制盘
5.7)自动阀门
5.8)反渗透装置仪表
I）RO产水流量表
J）RO浓水流量表
：0－20m3/hr.
K）RO进水电导表
L）RO产水电导表
：0－1000μs/cm
M）压力表
：0－2.5MPa
N）高、低压力开关
6.）二级RO水箱
：15m3
7.）RO供水泵
：Q=8m3/hH=0.45MPa
8.）EDI原水泵
：Q=32m3/hH=0.55MPa
9.）TOC去除装置
壳体材质
：316LSS
波长
：185nm
处理能力
压力等级
：1.0MPa
：紫外线强度检测、工作小时累计、状态指示
产地
10.）脱氧膜装置
膜元件规格
：10″×28″
膜元件数量
：2支
装置出力
：真空泵
膜元件生产商
装置制造商
11.）EDI装置
：Q=29m3/h
：90-95％
产水电阻率
：≥16MΩ·cm
膜件数量
配件
整流柜
仪表、管道、阀门
机架
12.）超纯水箱
：超纯水用FRP
附件（进口）
：氮封装置、回水背压阀、液位传感器
13.）变频纯水泵1
：Q=6m3/h,H=50m
：2个
14.）去除TOC装置
：6m3/h
15.）终端精密过滤器
过滤精度
：0.1μm
滤芯数量
16.）变频纯水泵2
：Q=35m3/h,H=60m
17.）板式换热器
：板式
：35m3/h
温升范围
：9-22℃
：316L
：VIEX
温度控制阀
18.）去除TOC装置
19.）脱氧膜装置
：1支
装置生产商
20.）一级纯水抛光混床
：DN800
：19m3/h/台
外壳材质
半导体级树脂
21.）二级纯水抛光混床
22.）超纯水终端在线仪表（一）
22.1)电阻率表
：液晶显示(双探头)
电阻率表
：终端出水及回水
22.2)流量表
22.3)温度变送器
23.）纯水终端在线仪表（二）
23.1)电阻率表
23.2)流量表
24.）软化水出水在线仪表（三）
24.1)电阻率表
：出水
24.2)流量表
25.）气与控制系统
25.1)电气
A）低压配电柜
关键元件
：进口
B）就地开关箱
：5个
25.2)控制系统
C）控制柜
制造
D）PLC系统
PLC模块
成套
E）PLC控制软件
编制
F）上位机
规范
PⅣ800/128M/20G/21”彩显
一、超纯水系统总体介绍
随着电子工业的发展，在芯片的生产加工过程中，对于水质的要求也越来越高。为了保证生产出超大规模的集成电路，除高纯原材料、高纯气体、高纯化学药品外，高纯水也是其中最关键的因素之一。高纯水系统是将一般的市政用水处理成对不同离子的含量和颗粒度都有很高要求的超纯水。
超纯水系统总体来说一般可分为三个部分：超纯水制造区（CUB部分）；超纯水抛光循环区（FAB部分）；超纯水输送管网（FAB各使用区）。
其中超纯水制造区最为复杂其又可分为：预处理、一次纯水处理、超纯水处理三个部分。预处理部分主要包括：沙滤、活性炭塔（有的厂商在沙滤前还增设反应槽、气浮池）；一次纯水部分主要包括：阴阳离子交换塔、脱气塔（DG）、保安过滤器、紫外线杀菌器及多级反渗透；
超纯水部分主要包括：MDG（脱氧膜组）、TOC-UV杀菌器、混床（MB）及终端过滤器。但是由于考虑到在向工艺线设备输送高纯水过程中，输水管道会对水质再次造成污染，因而在FAB内一般都设立抛光循环系统。抛光循环系统主要以MB为核心，再加上超滤设备（UF），以除去在向工艺生产线输送纯水的过程中，管网溶入水中的杂质。
二、超纯水系统中各阶段常用管材
在超纯水系统中管材的选用也非常重要，既要能做到保证水质、又应该做到经济合理。超纯水系统中常用管材主要包括：PVC、SGP、SGP（RL）、SUS304、CPVC、SUS316及PVDF等管材。
一般在超纯水制造区预处理阶段多采用PVC管或SUS304管。设备面管一般采用内衬胶钢管（SGPRL），对于水泵等产生震动的动力设备周边采用SUS304管；在一次纯水阶段主流程采用CPVC管或SUS304管。高压泵与反渗透（RO）之间，由于压力高，所以须采用SCH80的SUS304管及耐压2.0Mpa级法兰。由于RO对水温有一定要求，因而一般在RO之前有热交换器，其周边也应采用SUS304管；在超纯水制造阶段，主流程一般应采用SUS316管和CPVC管；抛光循环区主流程一般采用SUS316管（焊接连接，并要求双面成型）和PVDF管。超纯水回收管道采用CPVC管。
在以上水处理各阶段废水排放管道均采用普通PVC管；在纯水制造过程中酸碱等加药管线，应采用耐冲击PVC管；纯水系统中使用的氮气系统采用SUS304管，超纯水抛光系统所用氮气管道采用SUS316管；压缩空气系统在纯水系统中作为气动阀开关动力，一般采用SUS304管或SGP管，当采用SGP管时进入电气盘前需加过滤器。
三、超纯水系统施工
超纯水系统水站部分施工难度最大，其主要包括三个部分：设备的搬入及安装，共用管架的制作安装以及管道的安装。设备的移入一定要注意编制详细的设备吊装方案，特别是对于超重、超大、易损设备，千万不可以野蛮冒险施工。共用架台的施工要注意两个环节：
1、架台与土建结构连接处一定要坚固，最好采用预埋铁板。若因种种原因不能预埋，则应用化学铆栓固定在梁上，不应使用一般的简易膨胀螺栓。切不可用铁板和简易膨胀螺栓固定在楼板上；
2、整段管架一定要保持水平，以免管道与共架接触部位由于应力不均匀引起管道弯曲破损。水站的管道施工除CDA、氮气及热交换器用的蒸汽或冷热水管道可以按系统进行施工外，其他站内管道施工可分为两大部分，即共架管道施工和设备周边配管施工。开工初期两部分可以同时进行施工。当共架直管段与设备本体配管完成之后，应该从设备周边管道向共架管道进行连接配置，最终与共架管道相连形成封闭的管路系统。
超纯水系统管道施工与其他一般动力管道施工有很大区别，它除了要保证管道系统的密闭性外，还有更加重要的一点，就是要在施工过程中一定要保证管道的洁净。下面我就来谈谈超纯水系统中CPVC（氯化聚氯乙烯）和PVDF（聚偏二氟乙烯）管道特殊的施工工艺。
四、超纯水系统中CleanPVC、PVDF管道施工
CleanPVC和PVDF管材在金属离子及有机碳的析出、无微细粒子、无活菌繁殖等方面，都能满足超纯水系统的要求。管材及附件的加工封装都是在超洁净环境中进行的，因而这两种管道的施工也有一定的特殊性。
CleanPVC管道粘接应采用日本产85号塑料管用胶水。
管道切割应采用电动带锯式管道切割锯或旋转式割管器，尽量避免用手锯（因为手锯切管管端毛刺多难处理）。切口的毛刺一定要清除干净，且要对管端进行2~3毫米的倒角，以免粘接时胶水被刮入承口内，造成因人为施工不当减小粘接面使管道粘接部位泄漏。管件和管道粘接面涂胶一定要均匀，涂胶前对管件的内面及管道的外面先用白布去除外表灰尘，再用无尘布沾丙酮进行脱脂清洗。除以上外更重要的一点就是CleanPVC管道的洁净施工，这也是它与其他普通PVC管道施工的最大区别。
CleanPVC管道粘接施工严格的说应该在洁净间内进行，而后再采用法兰在现场连接。但由于施工现场的种种特殊情况，管道往往要在现场进行下料粘接安装。但需注意在现场施工时，施工区域要相对干净（不得有很大的灰尘）。粘接施工时禁止在地面上进行，应在加工平台上进行粘接操作。
CleanPVC管道施工时一定要戴上专用洁净一次性手套，施工过程中禁止徒手接触管道的内壁（因为手上的油脂粘在管内壁很难冲洗干净）。管道在插入时使用紧线器，并划线以确认插入的深度是否足够。法兰间密封材料应用PTFE（聚四氟乙烯）。堆放场所需要垫上彩条布或塑料薄膜对管道进行保护。
PVDF管道全部采用焊接连接。
在施工过程中，对于操作过程更要注意洁净，同时对于施工环境的要求更加严格。PVDF管道焊接必须在洁净小室内进行，不得在一般的房间内进行施工。进入洁净加工间必须换上专用鞋，管口及附件在洁净间外必须封口不得外露。对于管件的包装材料必须在施工前才能开封，在焊接操作时必须带好一次性洁净PVC手套，焊接前必须用异丙醇、酒精或丙酮对管端进行脱脂、清洗。清洗用布要采用无尘洁净布，不干净的无尘布要及时更换。辅助焊接的人员也须带上洁净棉手套。对于每一个焊口，焊完之后必须及时进行外观检查，要求焊口四周的焊露高低均匀，并高于管道外壁。
在PVDF管道焊完之后必须及时对管口进行封扎，再运到现场采用法兰连接，法兰间的密封材料采用PTFE。管道安装时先在现场量取尺寸绘制详细的安装加工图，再由专人进行管道焊接加工。焊接、安装人员各负其责以提高工作效益。
五、结论
总之在超纯水系统施工过程中，除了要满足管道系统的密闭要求外，更重要的就是要注意提高施工人员的洁净意识，使他们能自觉的按照洁净管道施工要求去做，根据水处理不同阶段的不同要求进行施工，以避免因施工不当对管道造成污染，使得处理水质达不到业主要求，引起质量事故的发生。
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